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专利信息69

序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种曝光设备的光源能量检测电路系统	实用新型	CN202121866942.X	CN215813731U	2022-02-11
2	LDI设备的激光打点装置	实用新型	CN202023203192.6	CN214161786U	2021-09-10
3	一种等压式分区吸附工作台	实用新型	CN202120434142.4	CN214122682U	2021-09-03
4	一种针对RTR柔性印刷电路板的双面曝光装置	发明专利	CN202110441574.2	CN113189850A	2021-07-30
5	一种多波段分别曝光的曝光装置及方法	发明专利	CN201811579100.9	CN109613802B	2021-07-30
6	一种曝光机运动平台的安全防撞控制电路	实用新型	CN202022665192.1	CN213817214U	2021-07-27
7	一种多波段光学曝光系统、设备及方法	发明专利	CN201811579233.6	CN109407473B	2021-06-11
8	一种多波段光学曝光系统、设备及方法	发明专利	CN201811579233.6	CN109407473A	2021-06-11
9	一种等压式分区吸附工作台	发明专利	CN202110219794.0	CN112859546A	2021-05-28
10	一种触发式对位结构的直写式曝光系统及方法	发明专利	CN201810480510.1	CN108710266B	2021-05-04

共 7 页

软件著作权5

序号	软件名称	软件简称	版本号	登记号	分类号	首次发表日期	登记批准日期
1	版本管理工具软件	-	V2.6.2	2021SR0217305	-	-	2021-02-07
2	影速LDI靶标识别系统软件	-	V1.0	2020SR0177026	-	-	2020-02-26
3	影速LDI料号系统软件	-	V1.1.3	2020SR0177020	-	-	2020-02-26
4	影速激光成像系统软件	-	V1.0	2018SR062744	-	-	2018-01-25
5	影速自动料号系统软件	-	V1.0	2018SR062740	-	-	2018-01-25

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