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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	分光曝光系统	实用新型	CN202023045894.6	CN214067574U	2021-08-27
2	一种无掩膜光刻设备	实用新型	CN202022844337.4	CN214011719U	2021-08-20
3	一种无掩膜光刻设备	实用新型	CN202022844287.X	CN213750654U	2021-07-20
4	一种结构简单的全反射混光系统	实用新型	CN202022937871.X	CN213423614U	2021-06-11
5	一种反射效率高的全反射混光系统	实用新型	CN202022935595.3	CN213362341U	2021-06-04
6	一种方便调节的全反射混光系统	实用新型	CN202022935593.4	CN213362340U	2021-06-04
7	曝光方法、曝光机及计算机可读存储介质	发明专利	CN202011499334.X	CN112462578A	2021-03-09
8	一种无掩膜光刻设备和无掩膜光刻方法	发明专利	CN202011374596.3	CN112379578A	2021-02-19
9	一种无掩膜光刻设备和无掩膜光刻方法	发明专利	CN202011374575.1	CN112379577A	2021-02-19

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