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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种抗颠振分子泵系统	实用新型	CN202022069067.4	CN213331586U	2021-06-01
2	一种抗振分子泵	实用新型	CN202022219959.8	CN213235487U	2021-05-18
3	用于磁悬浮分子泵安全轴承的减震弹片及磁悬浮分子泵	实用新型	CN202021730604.9	CN212838634U	2021-03-30
4	一种真空环境下的电机散热结构	实用新型	CN202021992981.X	CN212784998U	2021-03-23
5	一种减振结构	实用新型	CN202021814957.7	CN212564195U	2021-02-19
6	一种磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装	实用新型	CN202021676665.1	CN212512960U	2021-02-09
7	一种用于磁悬浮分子泵的定子灌封工装	实用新型	CN202021676662.8	CN212305083U	2021-01-05
8	一种分子泵机组及真空系统检漏方法	发明专利	CN202010929724.X	CN111999014A	2020-11-27
9	一种用于磁悬浮分子泵的定子灌封工装及灌封方法	发明专利	CN202010805834.5	CN111917254A	2020-11-10
10	一种电涡流传感器探头灵敏度及线性度优化方法及系统	发明专利	CN202010956258.4	CN111912449A	2020-11-10

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