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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种柔性聚合物处理高能离子束装置	发明专利	CN202110818293.4	CN113539779A	2021-10-22
2	一种柔性聚合物扫描装置	发明专利	CN202110818310.4	CN113529021A	2021-10-22
3	一种柔性聚合物金属沉积复合处理装置	发明专利	CN202110819214.1	CN113463060A	2021-10-01

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