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专利信息23

序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种光刻机间隙曝光控制装置	实用新型	CN202122138240.6	CN215867503U	2022-02-18
2	一种多尺寸通用传输机构	实用新型	CN202122138201.6	CN215853558U	2022-02-18
3	一种IPA干燥设备	实用新型	CN202122149340.9	CN215809786U	2022-02-11
4	一种用于单片式湿法设备的药液供给装置	实用新型	CN202122147736.X	CN215785481U	2022-02-11
5	一种用于光刻机工艺的自动对焦装置	实用新型	CN202122138184.6	CN215769356U	2022-02-08
6	一种基于衍射光栅器件的自动对准装置	实用新型	CN202122138219.6	CN215769164U	2022-02-08
7	一种基于图像识别的自动对准装置	实用新型	CN202122149346.6	CN215679438U	2022-01-28
8	一种PID自适应温控装置	实用新型	CN202122135982.3	CN215679148U	2022-01-28
9	一种掩膜版自动传输装置	实用新型	CN202023309924.X	CN215478248U	2022-01-11
10	一种用于单片式湿法设备的药液温控装置	实用新型	CN202122156633.X	CN215450003U	2022-01-07

软件著作权4

序号	软件名称	软件简称	版本号	登记号	分类号	首次发表日期	登记批准日期
1	睿芯曝光机双工作台智能监控系统	-	V1.0	2018SR988828	-	2018-10-09	2018-12-07
2	睿芯曝光机超纯水监控系统	-	V1.0	2018SR988814	-	2017-12-30	2018-12-07
3	睿芯CCD视觉对准系统	-	V1.0	2018SR985537	-	2018-10-10	2018-12-06
4	睿芯曝光机水温监控系统	-	V1.0	2018SR984871	-	2017-12-30	2018-12-06

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