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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种便携接触式碳化硅晶圆片厚度测量仪	实用新型	CN202220262317.2	CN216977849U	2022-07-15
2	一种带有集尘装置的碳化硅双面抛光机	实用新型	CN202220394740.8	CN216967383U	2022-07-15
3	一种硅芯用平面磨床	实用新型	CN202220394832.6	CN216967221U	2022-07-15
4	一种晶棒数控一体式滚圆机	实用新型	CN202220456256.3	CN216967194U	2022-07-15

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