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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种气体团簇离子源产生方法及装置	发明专利	CN201710664910.3	CN107393794B	2019-09-10
2	一种强流低能团簇离子束导向装置	实用新型	CN201720100087.9	CN206685346U	2017-11-28
3	一种气体团簇离子源产生方法及装置	发明专利	CN201710664910.3	CN107393794A	2017-11-24
4	一种阴极电弧靶冷却装置	实用新型	CN201420150138.5	CN203754799U	2014-08-06

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