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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种用液态或气态前驱体生产纳米材料的设备	实用新型	CN201821618119.5	CN209997611U	2020-01-31
2	用液态或气态前驱体生产纳米材料的ICP等离子气相冷却器	实用新型	CN201821618121.2	CN209317654U	2019-08-30
3	一种大功率复合频率ICP等离子发生器	实用新型	CN201821618110.4	CN209283567U	2019-08-20
4	用液态或气态前驱体生产纳米材料的ICP等离子气相反应器	实用新型	CN201821618109.1	CN209237921U	2019-08-13
5	用液态或气态前驱体生产纳米材料的ICP等离子气相冷却器	发明专利	CN201811163951.5	CN109046201A	2018-12-21
6	用液态或气态前驱体生产纳米材料的ICP等离子气相反应器	发明专利	CN201811163935.6	CN109046200A	2018-12-21
7	一种用液态或气态前驱体生产纳米材料的设备	发明专利	CN201811163945.X	CN109012527A	2018-12-18
8	一种大功率复合频率ICP等离子发生器	发明专利	CN201811163946.4	CN108966474A	2018-12-07

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