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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	封装板结构及MEMS麦克风	实用新型	CN202122626047.7	CN215991200U	2022-03-08
2	麦克风设备	实用新型	CN202122626036.9	CN215991199U	2022-03-08
3	信号处理ASIC电路及微机电系统骨振动传感器	发明专利	CN202210022707.7	CN114125676A	2022-03-01
4	MEMS传感器的封装结构	发明专利	CN202111497010.7	CN114125674A	2022-03-01
5	接口电路、微机电声学传感器和接口电路的驱动方法	发明专利	CN201911007570.2	CN110740411B	2021-05-04
6	接口电路、微机电声学传感器和接口电路的驱动方法	发明专利	CN201911007570.2	CN110740411A	2020-01-31

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