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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种滤芯、转接结构及其真空系统	实用新型	CN202022857707.8	CN214251416U	2021-09-21
2	一种分子泵磁轴承检测装置及检测方法	发明专利	CN202110574655.X	CN113295411A	2021-08-24
3	一种磁悬浮轴承结构及磁悬浮分子泵	发明专利	CN202110635199.5	CN113266583A	2021-08-17
4	一种应用于涡轮分子泵的防护装置	实用新型	CN202020031747.4	CN211692925U	2020-10-16

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1	苏州中科科仪技术发展有限公司	www.szkyky.com.cn	苏ICP备2021001185号	企业	2021-01-11

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