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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种LDI双工件曝光装置及曝光方法	发明专利	CN201510434790.9	CN104950599B	2019-07-19
2	一种上下分布式双工件台装置	发明专利	CN201510398828.1	CN104950598B	2017-05-24
3	一种基准式双工件台装置	发明专利	CN201510397473.4	CN104950597B	2017-05-24
4	一种侧立安装式双工件台装置	发明专利	CN201510395251.9	CN104950595B	2017-05-24
5	一种LDI双工件曝光装置及曝光方法	发明专利	CN201510434790.9	CN104950599A	2015-09-30
6	一种上下分布式双工件台装置	发明专利	CN201510398828.1	CN104950598A	2015-09-30
7	一种基准式双工件台装置	发明专利	CN201510397473.4	CN104950597A	2015-09-30
8	一种侧立安装式双工件台装置	发明专利	CN201510395251.9	CN104950595A	2015-09-30
9	一种扫描式无掩膜光刻机的数据处理方法	发明专利	CN201110143145.3	CN102354327B	2014-12-10
10	直写式光刻系统中倾斜扫描的图像数据压缩方法	发明专利	CN201210189351.2	CN102736449B	2014-10-15

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