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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种晶圆平面的校正装置	实用新型	CN202121992379.0	CN216054643U	2022-03-15
2	一种晶圆翻转装置	实用新型	CN202121991186.3	CN215625201U	2022-01-25
3	一种晶圆表面清洗装置	实用新型	CN202121992393.0	CN215613558U	2022-01-25
4	一种异型玻璃表面匀胶治具	实用新型	CN202121992676.5	CN215612900U	2022-01-25
5	一种晶圆平面的校正装置	发明专利	CN202110967595.8	CN113707589A	2021-11-26

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