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    西安碳星半导体科技有限公司

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    序号 专利名称 专利类型 申请号 公开(公告)号 公布日期
    1 一种四向切割金刚石块体的定位工装 实用新型 CN201821573016.1 CN209395067U 2019-09-17
    2 一种大功率微波发生装置的冷却结构 实用新型 CN201821572962.4 CN209299552U 2019-08-23
    3 一种增强循环水和金刚石片热交换的基片台结构 实用新型 CN201821572977.0 CN209271267U 2019-08-20
    4 一种CVD设备尾气收集处理装置 实用新型 CN201821573000.0 CN209271162U 2019-08-20
    5 一种有备用管路可切换的组合供气装置 实用新型 CN201821572986.X CN208901079U 2019-05-24
    6 一种金刚石研磨粉尘收集装置 实用新型 CN201821573002.X CN208895851U 2019-05-24
    7 一种激光切割金刚石片的定位夹紧装置 实用新型 CN201821573667.0 CN208895384U 2019-05-24
    8 一种金刚石研磨机磨盘平整及清理装置 实用新型 CN201821572991.0 CN208854410U 2019-05-14
    9 一种单次生长多片金刚石的籽晶盘结 实用新型 CN201820932769.0 CN208748258U 2019-04-16
    10 一种用于超薄单晶金刚石衬底研磨的夹具结构及制作方法 发明专利 CN201811428534.9 CN109623631A 2019-04-16

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