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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种电流孔径垂直电子晶体管外延结构	实用新型	CN201922200106.7	CN211017086U	2020-07-14
2	碳化硅外延生长用石墨盘基座	实用新型	CN201922201374.0	CN211005719U	2020-07-14
3	一种P型SiC外延及其生长方法	发明专利	CN202010095671.6	CN111293037A	2020-06-16
4	一种电流孔径垂直电子晶体管外延结构及其制备方法	发明专利	CN201911260778.5	CN110797409A	2020-02-14
5	晶片烘干系统	发明专利	CN201110042028.8	CN102148136B	2014-05-07
6	晶片烘干系统	发明专利	CN201110042028.8	CN102148136A	2011-08-10

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