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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种高纯多晶硅的生产方法及生产装备	发明专利	CN200910158901.2	CN101602506B	2012-10-24
2	一种高纯多晶硅的生产方法及生产装备	发明专利	CN200910158901.2	CN101602506A	2009-12-16
3	一种化学气相沉积固态先驱体供给设备	发明专利	CN200410062706.7	CN100339504C	2007-09-26
4	真空感应化学气相沉积/渗透系统分布式控制装置	发明专利	CN200710010132.2	CN101003896A	2007-07-25
5	一种化学气相沉积固态先驱体供给设备	发明专利	CN200410062706.7	CN1718854A	2006-01-11
6	化学气相共沉积与渗透先驱体自动供给装置	实用新型	CN200420073084.3	CN2716285Y	2005-08-10
7	一种化学气相共沉积与渗透尾气处理装置	实用新型	CN200420073083.9	CN2716284Y	2005-08-10
8	真空感应速凝炉的冷却滚筒	实用新型	CN02275428.8	CN2577215Y	2003-10-01
9	真空感应速凝炉的速凝室	实用新型	CN02275427.X	CN2569069Y	2003-08-27
10	真空感应速凝炉	实用新型	CN02275429.6	CN2569066Y	2003-08-27

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