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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	蒸发源机构以及溅射镀膜设备	实用新型	CN201922098942.9	CN211199385U	2020-08-07
2	换靶装置	实用新型	CN201922096394.6	CN211199384U	2020-08-07
3	基板装卸装置以及光学镀膜设备	发明专利	CN201911175133.1	CN110794488A	2020-02-14
4	装卸片装置以及磁控溅射镀膜设备	发明专利	CN201811441180.1	CN110616407A	2019-12-27
5	磁控溅射镀膜机	发明专利	CN201811441007.1	CN110616406A	2019-12-27
6	装卸片装置以及磁控溅射镀膜设备	实用新型	CN201821990414.3	CN209537613U	2019-10-25
7	磁控溅射镀膜机	实用新型	CN201821984019.4	CN209537612U	2019-10-25
8	镀膜生产线多级气氛隔离装置	发明专利	CN201610616844.8	CN106277816B	2019-08-23
9	一种灌装机	发明专利	CN201410614489.1	CN104494965B	2017-01-04
10	一种灌装机	发明专利	CN201410614489.1	CN104494965A	2015-04-08

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1	爱发科UCH官网	www.china-ulvac.com	沪ICP备08104600号	企业	2020-07-28
2	爱发科UCH官网	www.china-ulvac.com	沪ICP备08104600号	企业	2020-07-28
3	爱发科UCH官网	www.china-ulvac.com	沪ICP备08104600号	企业	2020-07-28
4	爱发科UCH官网	www.china-ulvac.com	沪ICP备08104600号	企业	2020-07-28
5	爱发科	www.ulvac.com.cn	沪ICP备08104600号	企业	2020-07-28

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