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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种用于抛光化学液的加热装置	实用新型	CN202022551718.3	CN213731116U	2021-07-20
2	一种提高硅片炉管清洗能力的清洗装置	实用新型	CN202022551717.9	CN213728327U	2021-07-20
3	一种硅片生产用切片装置	发明专利	CN201911394339.3	CN111098419B	2021-07-13
4	一种硅片生产用切片装置	发明专利	CN201911394339.3	CN111098419A	2021-07-13
5	一种硅片加工用清洗机的石英槽晶片承载台支撑底座装置	实用新型	CN202022377926.6	CN213026070U	2021-04-20
6	硅片承载盒用底盘	实用新型	CN202021342533.5	CN212257363U	2020-12-29
7	一种可以改善外延过程中毛边缺陷的硅片结构	实用新型	CN202021004322.0	CN211929434U	2020-11-13
8	一种硅片抛光加工过程中抛光设备用蜡嘴保湿装置	实用新型	CN201922134728.4	CN211388245U	2020-09-01
9	掺磷单晶硅生产中防尘爆的抽真空方法及应用其的掺磷单晶硅生产方法	发明专利	CN202010024633.1	CN111172598A	2020-05-19
10	一种硅片背面抛光用装置	实用新型	CN201820822046.5	CN208289705U	2018-12-28

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1	公司Web邮箱	1.192.129.38	豫ICP备18006856号	企业	2018-12-13

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