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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种弧源箱体与溅射箱体的密封装置	实用新型	CN202120381255.2	CN214271024U	2021-09-24
2	一种连续式磁控溅射生产线的冷却装置	实用新型	CN202120381340.9	CN214250191U	2021-09-21
3	一种磁控溅射生产线用往复式供料装置及供料方法	发明专利	CN202110295304.5	CN112897034A	2021-06-04
4	一种用于磁性材料镀膜的多元系重稀土金属靶材	发明专利	CN201910252605.2	CN111748783A	2020-10-09
5	一种改性PVDF超滤膜制备方法	发明专利	CN201811161751.6	CN109046028B	2020-05-15
6	一种改性PVDF超滤膜制备方法	发明专利	CN201811161751.6	CN109046028A	2020-05-15
7	一种带辅助加热功能的磁材真空镀膜机	实用新型	CN201920408128.X	CN209957891U	2020-01-17
8	一种磁材双面镀膜装置	实用新型	CN201920408132.6	CN209778986U	2019-12-13
9	一种磁材镀膜装置的旋转靶材	实用新型	CN201920408150.4	CN209778984U	2019-12-13
10	一种模具材料耐热涂层的制备方法	发明专利	CN201610880007.6	CN106497416B	2019-01-08

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