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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	基于硅衬底无牺牲层的非制冷红外焦平面阵列的制作方法	发明专利	CN200610066888.4	CN100452350C	2009-01-14
2	单层双材料微悬臂梁热隔离焦平面阵列的制作方法	发明专利	CN200510011988.2	CN100396593C	2008-06-25
3	用于提高非制冷红外焦平面阵列器件性能的制作方法	发明专利	CN200510090179.5	CN100387509C	2008-05-14
4	基于硅衬底无牺牲层的非制冷红外焦平面阵列的制作方法	发明专利	CN200610066888.4	CN101047149A	2007-10-03
5	用于提高非制冷红外焦平面阵列器件性能的制作方法	发明专利	CN200510090179.5	CN1911781A	2007-02-14
6	单层双材料微悬臂梁热隔离焦平面阵列的制作方法	发明专利	CN200510011988.2	CN1884039A	2006-12-27

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