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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种用于电子级气体提纯装置的安全环保停车方法	发明专利	CN202110750728.6	CN113440881B	2022-06-03
2	一种用于电子级气体提纯装置的安全环保停车方法	发明专利	CN202110750728.6	CN113440881A	2021-09-28
3	一种盐酸废酸的无害化处理系统	实用新型	CN202022222823.2	CN214004102U	2021-08-20
4	一种用于电子化学品的取样系统	实用新型	CN202023169560.X	CN213749207U	2021-07-20
5	一种用于过滤器的滤芯更换系统	实用新型	CN202022133482.1	CN213668325U	2021-07-13
6	一种用于高纯氯化氢和氯气的换热器	实用新型	CN202022159981.8	CN213335675U	2021-06-01
7	一种高纯氯化氢的无动力充装系统	实用新型	CN202022159351.0	CN213177666U	2021-05-11
8	一种高纯电子气体的充装系统	实用新型	CN202022145015.0	CN213040303U	2021-04-23
9	一种高纯电子化学品的充装系统	实用新型	CN202022133466.2	CN213040302U	2021-04-23
10	一种盐酸废酸的无害化处理方法	发明专利	CN202011057866.8	CN112142008A	2020-12-29

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