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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	用于MOCVD系统中控制外延片温度及均匀性的装置与方法	发明专利	CN201010263355.1	CN101906622B	2013-03-20
2	具有多个外延反应腔的MOCVD系统及其操作方法	发明专利	CN201010231273.9	CN102212877B	2012-08-22
3	一种外延片托盘支撑旋转联接装置	发明专利	CN201010263418.3	CN101922042B	2012-05-30
4	用于MOCVD反应腔中反应气体输送与均匀分布控制的装置	发明专利	CN201010258877.2	CN101914761B	2012-04-25
5	具有多个外延反应腔的MOCVD系统及其操作方法	发明专利	CN201010231273.9	CN102212877A	2011-10-12
6	一种外延片托盘及与其配合的支撑和旋转联接装置	发明专利	CN201010263418.3	CN101922042A	2010-12-22
7	用于MOCVD反应腔中反应气体输送与均匀分布控制的装置	发明专利	CN201010258877.2	CN101914761A	2010-12-15
8	用于MOCVD系统中控制外延片温度及均匀性的装置与方法	发明专利	CN201010263355.1	CN101906622A	2010-12-08

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