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专利信息15

序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	电光调制器的终端负载的制备方法及结构	发明专利	CN202111521422.X	CN114137748A	2022-03-04
2	折叠型马赫曾德尔调制器	发明专利	CN202110804468.6	CN113467106A	2021-10-01
3	热光型相位调制模块及光调制器	发明专利	CN202110721893.9	CN113359328A	2021-09-07
4	端面耦合器和半导体器件	发明专利	CN202110077861.X	CN112904481A	2021-06-04
5	一种共面波导线电极结构及调制器	实用新型	CN202020803683.5	CN213302710U	2021-05-28
6	芯片测试装置和系统	实用新型	CN202020178180.3	CN211826357U	2020-10-30
7	电极探针连接装置和系统	实用新型	CN202020178179.0	CN211826169U	2020-10-30
8	分布式光相位调制器	实用新型	CN201922115541.X	CN211426972U	2020-09-04
9	分布式光强调制器	实用新型	CN201922114656.7	CN211426971U	2020-09-04
10	样片自动清洗蚀刻装置	实用新型	CN202020178346.1	CN211238178U	2020-08-11

软件著作权2

序号	软件名称	软件简称	版本号	登记号	分类号	首次发表日期	登记批准日期
1	极刻光核光学元件测试系统软件	-	V1.0	2021SR0255316	-	-	2021-02-19
2	极刻光核步进电机控制系统软件	-	V1.0	2021SR0253501	-	-	2021-02-19

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