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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种半导体膜状扩散源下料切分装置	实用新型	CN202120453630.X	CN214394440U	2021-10-15
2	一种用于半导体膜状扩散源的半自动裁切设备	实用新型	CN202022640040.6	CN213617132U	2021-07-06
3	一种用于半导体膜状扩散源的裁切刀具	实用新型	CN202022640038.9	CN213616933U	2021-07-06
4	一种半导体膜状扩散源原料防凝装置	发明专利	CN202110230382.7	CN113023127A	2021-06-25
5	一种半导体膜状扩散源下料切分装置	发明专利	CN202110230377.6	CN113021480A	2021-06-25
6	一种解决硅片扩散边缘损伤的方法	发明专利	CN202010913135.2	CN112002664B	2021-05-25
7	一种磷硼纸膜成型卷辊装置	实用新型	CN202020683355.6	CN212740246U	2021-03-19
8	一种膜成型机压辊横梁装置	实用新型	CN202020682928.3	CN212736763U	2021-03-19
9	一种膜状扩散源成型机	发明专利	CN202010353492.8	CN112466746A	2021-03-09
10	一种用于半导体膜状扩散源的半自动裁切设备	发明专利	CN202011276530.0	CN112318618A	2021-02-05

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