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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种不间断式进片回片装置及控制方法	发明专利	CN201710356787.9	CN108962804B	2021-08-10
2	一种晶片湿法处理设备送风结构	发明专利	CN201711155443.8	CN109817542B	2021-05-04
3	一种晶片湿法处理设备送风结构	发明专利	CN201711155443.8	CN109817542A	2019-05-28
4	一种不间断式进片回片装置及控制方法	发明专利	CN201710356787.9	CN108962804A	2018-12-07
5	一种基板翻转对中装置	发明专利	CN201210455202.6	CN103811397B	2016-06-01
6	一种半导体处理系统中的流体脱泡装置和方法	发明专利	CN201310368461.X	CN104415579B	2016-03-16
7	一种半导体处理系统中的流体脱泡装置和方法	发明专利	CN201310368461.X	CN104415579A	2015-03-18
8	一种基板翻转对中装置	发明专利	CN201210455202.6	CN103811397A	2014-05-21

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