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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种硅片酸洗装置	发明专利	CN202210552745.3	CN114686901A	2022-07-01
2	一种气相沉积设备零部件用高压水洗装置	发明专利	CN202210004032.3	CN114318294A	2022-04-12
3	一种适用于异形零部件的喷砂机	发明专利	CN202111666062.2	CN114274053A	2022-04-05
4	一种CVD用陶瓷基板超声清洗装置	发明专利	CN202111443067.9	CN114101208A	2022-03-01
5	一种直压喷砂机的喷砂机芯	发明专利	CN202111446013.8	CN114029865A	2022-02-11
6	一种板材液压矫正机	发明专利	CN202111295986.6	CN114011905A	2022-02-08
7	一种转盘式喷砂机	发明专利	CN202111177848.8	CN113894707A	2022-01-07
8	一种PVD零件高压水洗设备	发明专利	CN202111294419.9	CN113814222A	2021-12-21
9	半导体显示衬底的化学清洗设备	实用新型	CN202020348017.7	CN211965189U	2020-11-20
10	用于半导体显示衬底的超声波清洗设备	实用新型	CN202020347159.1	CN211938193U	2020-11-17

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