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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种透过率可切换的衰减片装置	发明专利	CN202110627892.8	CN113253579A	2021-08-13
2	一种光刻机用的一体封装的LED阵列光源	实用新型	CN202020579195.0	CN213018989U	2021-04-20
3	一种基于LD泵浦荧光晶体的高亮度背光光源模组	实用新型	CN202020461364.0	CN212379688U	2021-01-19
4	一种基于扫描拼接的大尺寸曝光光源	实用新型	CN202020865009.X	CN211979422U	2020-11-20
5	一种时分复用曝光光源	实用新型	CN202020790200.2	CN211979421U	2020-11-20
6	一种大功率多波段曝光光源	实用新型	CN202020666328.8	CN211979419U	2020-11-20
7	一种三波段UV-LED曝光光源	实用新型	CN202020521582.9	CN211979418U	2020-11-20
8	一种时分复用曝光光源	发明专利	CN202010405848.8	CN111505911A	2020-08-07
9	一种大功率多波段曝光光源	发明专利	CN202010345413.9	CN111458988A	2020-07-28
10	一种基于LD泵浦荧光晶体的高亮度背光光源模组	发明专利	CN202010252789.5	CN111458931A	2020-07-28

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