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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种超高阻隔膜的水汽透过率的测试装置	发明专利	CN202011476363.4	CN112461732A	2021-03-09
2	一种用于柔性电子封装的柔性高阻隔膜及其制备方法	发明专利	CN202011250072.3	CN112366285A	2021-02-12
3	一种柔性衬底上具有线性可调压电特性的ZnO薄膜电激发器制备方法	发明专利	CN202011254831.3	CN112366273A	2021-02-12
4	绑定式磁控溅射旋转靶材及其制备方法	发明专利	CN201610143209.2	CN105624627B	2018-08-31
5	绑定式磁控溅射旋转靶材及其制备方法	发明专利	CN201610143209.2	CN105624627A	2018-08-31
6	一种利用铜铟镓硒合金溅射靶材生产铜铟镓硒薄膜的方法	发明专利	CN201310099414.X	CN103219419B	2016-08-03
7	一种用四元素合金靶材制备铜锌锡硫薄膜的方法	发明专利	CN201310100433.X	CN103219420B	2016-01-27
8	一种利用铜铟镓硒合金旋转溅射靶材生产铜铟镓硒薄膜的方法	发明专利	CN201310100735.7	CN103178162B	2015-11-18
9	一种用合金旋转靶材制备铜锌锡硫硒薄膜的方法	发明专利	CN201310099415.4	CN103208417B	2015-05-20
10	一种用四元素合金靶材制备铜锌锡硫薄膜的方法	发明专利	CN201310100433.X	CN103219420A	2013-07-24

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