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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种抛光垫	发明专利	CN202111506323.4	CN114193319A	2022-03-18
2	抛光垫、研磨设备及半导体器件的制造方法	发明专利	CN202111103638.4	CN113547450B	2022-01-07
3	一种抛光垫及半导体器件的制造方法	发明专利	CN202111089592.5	CN113524022B	2022-01-07
4	一种抛光垫	实用新型	CN202023289410.2	CN214519539U	2021-10-29
5	一种抛光垫及其制备方法、应用	发明专利	CN202011163365.8	CN112338820B	2021-10-29
6	抛光垫、研磨设备及半导体器件的制造方法	发明专利	CN202111103638.4	CN113547450A	2021-10-26
7	一种抛光垫及半导体器件的制造方法	发明专利	CN202111089592.5	CN113524022A	2021-10-22
8	一种抛光垫	实用新型	CN202023294359.4	CN214351683U	2021-10-08
9	检测窗口、化学机械抛光垫及抛光系统	发明专利	CN202110834098.0	CN113478382A	2021-10-08
10	一种抛光垫	实用新型	CN202120177695.6	CN214322989U	2021-10-01

共 6 页

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