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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种晶片烘干装置	实用新型	CN201520799159.4	CN205037695U	2016-02-17
2	一种负压承载装置	实用新型	CN201520799135.9	CN204991666U	2016-01-20
3	一种吸笔	实用新型	CN201520742607.7	CN204966473U	2016-01-13
4	一种掩膜提篮	实用新型	CN201520799305.3	CN204966469U	2016-01-13
5	一种晶片清洗治具	实用新型	CN201520799133.X	CN204966458U	2016-01-13
6	一种消磁装置	实用新型	CN201520799134.4	CN204966203U	2016-01-13
7	一种螺丝盒	实用新型	CN201520744853.6	CN204935614U	2016-01-06
8	一种晶片清洗方法	发明专利	CN201310657596.8	CN103639149B	2016-01-06
9	一种掩膜盛放盒	实用新型	CN201520739973.7	CN204905230U	2015-12-23
10	一种晶片清洗方法	发明专利	CN201310657596.8	CN103639149A	2014-03-19

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