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地址：山东省德州市禹城市国家高新技术产业开发区振兴大道汉能光伏产业园

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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种靶材清理装置及磁控溅射系统	实用新型	CN201822148894.5	CN209974872U	2020-01-21
2	一种清除极板毛刺的装置	实用新型	CN201822209975.1	CN209868171U	2019-12-31
3	一种静电除尘装置及磁控溅射系统	实用新型	CN201822167453.X	CN209798088U	2019-12-17
4	一种激光扫边检测器及激光扫边机	实用新型	CN201822210001.5	CN209589009U	2019-11-05
5	一种磨边测量装置	实用新型	CN201821596127.4	CN208952814U	2019-06-07
6	一种自定位自动压紧进电组件装置及其安装方法	发明专利	CN201510418751.X	CN104947077B	2017-09-26
7	多片沉积PECVD非晶硅薄膜反应盒的电极板及非晶硅薄膜沉积方法	发明专利	CN201510164849.7	CN104775106B	2017-08-08
8	一种自定位自动压紧进电组件装置	实用新型	CN201520517264.4	CN204982043U	2016-01-20
9	一种空调系统	实用新型	CN201520680793.6	CN204943681U	2016-01-06
10	一种太阳能电池清洁装置	实用新型	CN201520517078.0	CN204928724U	2015-12-30

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