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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	连续掩膜挡板传动装置	发明专利	CN201511033444.6	CN105525257B	2018-04-27
2	精确定位工件台的传动装置	发明专利	CN201511033445.0	CN105441901B	2018-03-20
3	精确定位工件台的传动装置	实用新型	CN201521142108.0	CN205275696U	2016-06-01
4	真空机械手传动装置	实用新型	CN201521142076.4	CN205275695U	2016-06-01
5	聚焦离子束物理气相沉积装置	实用新型	CN201521142110.8	CN205275693U	2016-06-01
6	连续掩膜挡板传动装置	实用新型	CN201521142082.X	CN205275688U	2016-06-01
7	连续掩膜挡板传动装置	发明专利	CN201511033444.6	CN105525257A	2016-04-27
8	精确定位工件台的传动装置	发明专利	CN201511033445.0	CN105441901A	2016-03-30
9	真空机械手传动装置	发明专利	CN201511033442.7	CN105441898A	2016-03-30
10	聚焦离子束物理气相沉积装置	发明专利	CN201511033542.X	CN105441894A	2016-03-30

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序号	网站名	网址	备案号	主办单位性质	审核日期
1	-	www.renovacuum.com.cn	皖ICP备13003744号	企业	2018-09-29

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