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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	双层悬浮红外热电堆的制备方法	发明专利	CN202110662164.0	CN113394333A	2021-09-14
2	双层悬浮红外热电堆的制备方法	发明专利	CN202110660953.0	CN113394332A	2021-09-14
3	双层悬浮红外热电堆及其制备方法	发明专利	CN202110662171.0	CN113394331A	2021-09-14
4	热堆式气体质量流量传感器及其制备方法	发明专利	CN201910542657.3	CN110146136A	2019-08-20

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