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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种双面曝光的对准装置、方法及设备	发明专利	CN201811557789.5	CN109613803B	2021-05-28
2	一种两面对准的倒置曝光设备	发明专利	CN201710032580.6	CN106814552B	2019-05-10
3	一种双面曝光的对准装置、方法及设备	发明专利	CN201811557789.5	CN109613803A	2019-04-12
4	一种阻焊曝光方法	发明专利	CN201710181528.7	CN106707700B	2018-04-06
5	一种双面对位曝光装置及含有该装置的激光直写设备	实用新型	CN201720053360.7	CN206479769U	2017-09-08
6	一种倒置曝光设备	实用新型	CN201720053359.4	CN206411418U	2017-08-15
7	一种带有透明真空吸盘的倒置曝光设备	实用新型	CN201720050159.3	CN206411417U	2017-08-15
8	一种两面对准的倒置曝光设备	发明专利	CN201710032580.6	CN106814552A	2017-06-09
9	一种阻焊曝光方法	发明专利	CN201710181528.7	CN106707700A	2017-05-24
10	一种双面对准的曝光系统	发明专利	CN201710032482.2	CN106647188B	2017-05-10

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