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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种具有距离微调节的机械手	实用新型	CN202022726102.5	CN214163050U	2021-09-10
2	一种改善EL黑斑的离子气流发生装置	实用新型	CN202023323164.8	CN214100239U	2021-08-31
3	一种用于镀膜设备尾排管路的清理装置	实用新型	CN202022593793.6	CN213708476U	2021-07-16
4	一种去除硅片油污的方法	发明专利	CN201910608069.5	CN110416064B	2021-07-16
5	一种去除硅片油污的方法	发明专利	CN201910608069.5	CN110416064A	2021-07-16
6	一种吹气压片装置	实用新型	CN201922035678.4	CN210607301U	2020-05-22
7	一种空压设备维保检修装置	实用新型	CN201921302536.3	CN210589081U	2020-05-22
8	一种用于太阳能电池电性能测试仪的PCB探针排	实用新型	CN201921020538.3	CN210572418U	2020-05-19
9	一种PERC电池的石墨框	实用新型	CN201920961116.X	CN210560743U	2020-05-19
10	一种PECVD特气管路	实用新型	CN201920978763.1	CN210560740U	2020-05-19

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