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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	离子束能量控制装置	发明专利	CN201910340903.7	CN111863576A	2020-10-30
2	电磁透镜组中带电粒子束的控制方法及系统	发明专利	CN201910339992.3	CN111863572A	2020-10-30
3	离子注入机的作业平台	实用新型	CN202020455344.2	CN211788912U	2020-10-27
4	离子源引出电极系统	实用新型	CN202020259894.7	CN211788911U	2020-10-27
5	硅片输运装置	实用新型	CN202020286883.8	CN211529927U	2020-09-18
6	真空过滤装置及系统	实用新型	CN201922002042.X	CN211513831U	2020-09-18
7	FinFET的掺杂方法	发明专利	CN201510107549.5	CN106033715B	2019-03-22
8	离子注入设备及方法	发明专利	CN201710712869.2	CN109148246A	2019-01-04
9	束流检测装置	发明专利	CN201611129377.2	CN108615666A	2018-10-02
10	FinFET的掺杂方法	发明专利	CN201510107549.5	CN106033715A	2016-10-19

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