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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	太阳能硅片高速线扫描光致荧光成像检测设备	发明专利	CN201310155633.5	CN104122266B	2016-12-28
2	太阳能硅片及电池片缺陷检测系统	发明专利	CN201210539390.0	CN103871919B	2016-06-29
3	太阳能硅片线痕高精度检测系统	发明专利	CN201210073886.3	CN103323466B	2016-04-13
4	太阳能电池片、硅片背面光学检测系统	发明专利	CN201210110136.9	CN103376197B	2015-08-19
5	太阳能硅片高速线扫描光致荧光成像检测设备	发明专利	CN201310155633.5	CN104122266A	2014-10-29
6	太阳能硅片及电池片缺陷检测系统	发明专利	CN201210539390.0	CN103871919A	2014-06-18
7	太阳能多晶硅电池片表面缺陷与沾污检测设备	发明专利	CN201210110124.6	CN103376255A	2013-10-30
8	太阳能电池片、硅片背面光学检测系统	发明专利	CN201210110136.9	CN103376197A	2013-10-30
9	太阳能硅片高速线扫描光致荧光成像检测设备	实用新型	CN201320228457.9	CN203231972U	2013-10-09
10	太阳能硅片线痕高精度检测系统	发明专利	CN201210073886.3	CN103323466A	2013-09-25

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