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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种用于大尺寸线掩膜版的转运包装	实用新型	CN202023007493.1	CN213921943U	2021-08-10
2	一种基于AOI系统的掩模版缺陷检测方法及系统	发明专利	CN202110443916.4	CN113138529A	2021-07-20
3	用于涂胶机狭缝刮刀的调节装置	实用新型	CN202020979046.3	CN212596762U	2021-02-26
4	一种掩模版膜面微粒清除装置及方法	发明专利	CN202110045397.6	CN112387707A	2021-02-23
5	一种G8.6掩膜版涂胶装置	实用新型	CN202021590265.9	CN212515344U	2021-02-09
6	一种用于掩膜版光阻涂布夹具的装置	实用新型	CN202021590247.0	CN212515343U	2021-02-09
7	一种掩膜版光学膜贴合治具	实用新型	2020217630606	CN212433576U	2021-01-29
8	掩膜版涂布用顶柱装置	实用新型	CN202020978944.7	CN212240868U	2020-12-29
9	用于掩膜版光刻胶的缓存装置	实用新型	CN202020430760.7	CN211996679U	2020-11-24
10	一种用于掩膜版涂胶机顶柱更换装置	实用新型	CN202020374948.4	CN211956117U	2020-11-17

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