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专利信息35

序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种匀胶铬版涂胶用治具存储装置	实用新型	CN202220451312.4	CN216995574U	2022-07-19
2	一种掩膜版远程检查装置	实用新型	CN202220449642.X	CN216979583U	2022-07-15
3	一种掩膜版拆膜装置	实用新型	CN202220451316.2	CN216979581U	2022-07-15
4	一种涂胶机喷涂装置	实用新型	CN202122613283.5	CN216936582U	2022-07-12
5	一种掩膜版检查搬运装置	实用新型	CN202220451309.2	CN216886814U	2022-07-05
6	一种大尺寸掩膜版下料装盒对位夹具	发明专利	CN202210405234.9	CN114589650A	2022-06-07
7	一种掩膜版检查机检查区域坐标设置方法	发明专利	CN202210205006.7	CN114563916A	2022-05-31
8	一种掩膜版图形关键尺寸精度优化方法	发明专利	CN202210205001.4	CN114545727A	2022-05-27
9	一种用于掩膜版撬膜的放版装置	实用新型	CN202122613292.4	CN216118383U	2022-03-22
10	一种掩膜版的下版中转装置	实用新型	CN202121937536.8	CN215945474U	2022-03-04

软件著作权3

序号	软件名称	软件简称	版本号	登记号	分类号	首次发表日期	登记批准日期
1	光掩膜工艺模拟及补正模拟软件	-	V1.0	2021SR0662697	-	2021-03-10	2021-05-11
2	新型显示器件用掩膜版AX系统	AX系统	V1.0	2021SR0434256	-	2020-09-20	2021-03-23
3	集成电路用掩膜版MES系统	MES系统	V1.0	2021SR0434255	-	2020-09-20	2021-03-23

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