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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种高通量磁控溅射纳米薄膜器件一体化制备装置	发明专利	CN201911096819.1	CN110777344B	2021-07-06
2	一种高通量磁控溅射纳米薄膜器件一体化制备装置	发明专利	CN201911096819.1	CN110777344A	2021-07-06
3	一种高通量磁控溅射纳米薄膜器件制备装置	实用新型	CN201921935891.4	CN210886210U	2020-06-30
4	一种用于磁控靶的收放式挡板及含其的磁控溅射镀膜机	实用新型	CN201921934505.X	CN210886209U	2020-06-30
5	一种直热式高通量样品架及含其的磁控溅射镀膜机	实用新型	CN201921934476.7	CN210886208U	2020-06-30

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序号	网站名	网址	备案号	主办单位性质	审核日期
1	纳能镀膜丹阳有限公司	www.nano-energy.cn	苏ICP备19073457号	企业	2019-12-19

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