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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种切割冷却装置	实用新型	CN202021496175.3	CN214263684U	2021-09-24
2	一种单晶炉配套设备撬装装置	实用新型	CN202023234404.7	CN213951416U	2021-08-13
3	一种单晶炉预埋式安装结构	实用新型	CN202023173305.2	CN213925134U	2021-08-10
4	一种单晶炉防震结构	实用新型	CN202021498010.X	CN213653511U	2021-07-09
5	一种硅片及硅片的检测装置	实用新型	CN202022617751.1	CN213546328U	2021-06-25
6	一种单晶炉炉底冷却装置及单晶炉	实用新型	CN202021495027.X	CN213417069U	2021-06-11
7	一种三元掺杂半导体及其制备工艺	发明专利	CN202011609370.7	CN112853475A	2021-05-28
8	一种硅片清洗废水处理系统	发明专利	CN202011608724.6	CN112775089A	2021-05-11
9	一种清洗机供水节能系统	实用新型	CN202021483570.8	CN212801745U	2021-03-26
10	一种喷砂打磨设备	实用新型	CN202021492397.8	CN212794578U	2021-03-26

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