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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	应用于激光成像系统中不同厚度基板的标定方法及装置	发明专利	CN201310659550.X	CN103615979B	2018-04-03
2	控制箱及用于LDI设备的控制箱装置	实用新型	CN201621254945.7	CN206497299U	2017-09-15
3	用于LDI对位相机的标定装置	实用新型	CN201620920607.6	CN206292868U	2017-06-30
4	对准镜筒、对准镜头及光刻机	实用新型	CN201621254599.2	CN206292525U	2017-06-30
5	一种可双向滑动楔形棱镜聚焦装置	发明专利	CN201310478313.3	CN103488062B	2017-04-05
6	一种PCB板上图案印刷的校准装置	实用新型	CN201620920704.5	CN206061309U	2017-03-29
7	印制电路板自动定位装置	实用新型	CN201620920608.0	CN206061301U	2017-03-29
8	光学引擎装置	实用新型	CN201620920609.5	CN206057795U	2017-03-29
9	一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构及直写式光刻机	实用新型	CN201620920059.7	CN206057794U	2017-03-29
10	一种直写式光刻机的电控装置及直写式光刻机	实用新型	CN201620920021.X	CN206057793U	2017-03-29

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