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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种全封闭多功能复合渗注镀膜机	实用新型	CN201520244448.8	CN204644461U	2015-09-16
2	一种可延长的靶管旋转磁控柱弧靶	实用新型	CN201520244535.3	CN204644454U	2015-09-16
3	一种磁场旋转磁控柱弧靶	实用新型	CN201520244431.2	CN204644453U	2015-09-16
4	一种靶管旋转磁控柱弧靶	实用新型	CN201520244401.1	CN204644452U	2015-09-16

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