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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种状态可自锁定的大位移MEMS光开关	发明专利	CN201410188436.8	CN104007549B	2017-02-15
2	一种大行程MEMS探针器件及其制作方法	发明专利	CN201510265023.X	CN105366622A	2016-03-02
3	一种制造光衰减器阵列的方法及光衰减器阵列	发明专利	CN201510573202.X	CN105353469A	2016-02-24
4	一种半自对准直接耦合式光纤阵列的制备方法	发明专利	CN201510573189.8	CN105353468A	2016-02-24
5	一种MEMS可调光衰减器的封装结构及封装方法	发明专利	CN201310744255.4	CN103698854B	2016-01-13
6	一种低成本多丝正比计数器电极阵列及其制作方法	发明专利	CN201310655036.9	CN103645492B	2015-11-18
7	一种混合驱动的可调谐光学驱动器	实用新型	CN201520025671.3	CN204719329U	2015-10-21
8	一种MEMS器件的分离方法	发明专利	CN201510018832.0	CN104787718A	2015-07-22
9	一种MEMS可调谐光学驱动器	实用新型	CN201420739724.3	CN204462538U	2015-07-08
10	一种集成微垫片的MEMS可调光衰减器芯片	实用新型	CN201420672263.2	CN204454561U	2015-07-08

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