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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	高纯度液体氯硅烷取样装置	实用新型	CN202023154319.X	CN214309694U	2021-09-28
2	一种四氯化硅供料系统	实用新型	CN202023205862.8	CN214306525U	2021-09-28
3	四氯化硅产品罐尾气回收装置	实用新型	CN202023115978.2	CN214287522U	2021-09-28
4	高纯光纤用四氯化硅生产过程中尾气回收循环利用装置	实用新型	CN202023111861.7	CN214287404U	2021-09-28
5	电子级六氯二硅烷的生产系统	实用新型	CN202023071361.5	CN214270231U	2021-09-24
6	一种高效氯硅烷过滤器	实用新型	CN202022691089.4	CN214261071U	2021-09-24
7	连续精馏法生产电子级六氯二硅烷的方法	发明专利	CN202011501755.1	CN112479213A	2021-03-12
8	一种分析溶解氧的固氧装置	实用新型	CN201922423377.9	CN211978795U	2020-11-20
9	一种合成三氯化硼的流化床	实用新型	CN201922428701.6	CN211706732U	2020-10-20
10	一种四氯化硅尾气直冷回收装置	实用新型	CN201922423968.6	CN211513970U	2020-09-18

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