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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种反应腔装置	实用新型	CN202023041281.5	CN214279904U	2021-09-24
2	一种预真空锁模块	实用新型	CN202023184107.6	CN213583732U	2021-06-29
3	一种反应腔装置	实用新型	CN202022651965.0	CN213583693U	2021-06-29
4	一种半导体加工用清洗装置	发明专利	CN202011620408.0	CN112827930A	2021-05-25
5	一种腔内晶圆寻心系统	实用新型	CN202022652065.8	CN213242522U	2021-05-18
6	一种缓冲腔和晶圆传送系统	实用新型	CN202022655692.7	CN213242506U	2021-05-18
7	一种预真空锁模块、晶圆传入方法及传出方法	发明专利	CN202011566379.4	CN112599460A	2021-04-02
8	一种反应腔装置及其工作方法	发明专利	CN202011496224.8	CN112447488A	2021-03-05
9	一种缓冲腔、晶圆传送系统及其工作方法	发明专利	CN202011283475.8	CN112349633A	2021-02-09
10	一种腔内晶圆寻心系统及其工作方法	发明专利	2020112845165	CN112259487A	2021-01-22

软件著作权10

序号	软件名称	软件简称	版本号	登记号	分类号	首次发表日期	登记批准日期
1	Mark8涂胶显影机维护管理系统	-	V1.0	2020SR1657930	-	-	2020-11-26
2	2205I10C步进式光刻机运行状态监控管理系统	-	V1.0	2020SR1611736	-	-	2020-11-19
3	2205I10C步进式光刻机运行参数配置系统	-	V1.0	2020SR1611735	-	-	2020-11-19
4	Mark8涂胶显影机设备运行控制系统	-	V1.0	2020SR1611734	-	-	2020-11-19
5	PMC100掩膜版清洗机运维管控系统	-	V1.0	2020SR1610762	-	-	2020-11-19
6	PMC100掩膜版清洗机参数优化配置系统	-	V1.0	2020SR1610747	-	-	2020-11-19
7	PMC100掩摸版清洗机节能优化控制系统	-	V1.0	2020SR1610732	-	-	2020-11-19
8	2205I10C步进式光刻机智能化控制系统	-	V1.0	2020SR1610577	-	-	2020-11-19
9	Mark8涂胶显影机参数配置系统	-	V1.0	2020SR1610535	-	-	2020-11-19
10	Mark8电子工业设备运维数据分析系统	-	V1.0	2020SR1610262	-	-	2020-11-19

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