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专利信息21

序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种加热炉自适应温度动态补偿系统	实用新型	CN202122321926.9	CN215725210U	2022-02-01
2	一种高效环保的碳化硅冶炼炉	实用新型	CN202122321904.2	CN215725066U	2022-02-01
3	一种沉积炉进气流量自动控制装置	实用新型	CN202121971961.9	CN215721909U	2022-02-01
4	一种高强高韧碳化硅涂层石墨载盘	实用新型	CN202121972006.7	CN215713365U	2022-02-01
5	一种石墨承载盘烘烤装置	实用新型	CN202122529268.2	CN215713357U	2022-02-01
6	一种粉末冶金制品烧结后表面硬化的装置	实用新型	CN202121972009.0	CN215392466U	2022-01-04
7	一种碳化硅涂层用高效沉积炉	实用新型	CN201922141234.9	CN211546661U	2020-09-22
8	一种多功能真空密封过滤装置	实用新型	CN201922124876.8	CN211536700U	2020-09-22
9	一种抗震预冷温控可调的低温储罐	实用新型	CN201922130658.5	CN211197320U	2020-08-07
10	一种全自动超声波清洗机	实用新型	CN201922130637.3	CN211191230U	2020-08-07

软件著作权4

序号	软件名称	软件简称	版本号	登记号	分类号	首次发表日期	登记批准日期
1	高精度3D激光扫描检测系统	-	V1.0	2019SR0943263	30200-0000	2018-12-20	2019-09-10
2	化学气相沉积炉流量控制系统	-	V1.0	2019SR0943255	30200-0000	2018-08-16	2019-09-10
3	化学气相沉积炉压力控制系统	-	V1.0	2019SR0942734	30200-0000	2019-03-15	2019-09-10
4	化学气相沉积炉温度控制系统	-	V1.0	2019SR0942584	30200-0000	2019-05-16	2019-09-10

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