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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	基底片存储器	发明专利	CN201710352551.8	CN106945916B	2018-08-31
2	极坐标平面搬运机器人	实用新型	CN201720238958.3	CN206578819U	2017-10-24
3	晶圆盒输送装载系统	发明专利	CN201710149660.X	CN107068604A	2017-08-18
4	基底片存储器	发明专利	CN201710352551.8	CN106945916A	2017-07-14
5	极坐标平面搬运机器人	发明专利	CN201710145819.0	CN106891325A	2017-06-27
6	晶圆盒输送装置	发明专利	CN201710149815.X	CN106876312A	2017-06-20
7	全封闭式SMIF系统	发明专利	CN201710192002.9	CN106684023A	2017-05-17

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