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专利信息17

序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种硅片承载装置	发明专利	CN201810807278.8	CN109003928B	2021-03-09
2	一种硅片承载装置	发明专利	CN201810807278.8	CN109003928A	2018-12-14
3	一种硅片清洗设备	发明专利	CN201810807376.1	CN109003920B	2018-12-14
4	一种硅片清洗设备	发明专利	CN201810807376.1	CN109003920A	2018-12-14
5	一种硅片干燥装置及其干燥方法	发明专利	CN201810807276.9	CN109000440A	2018-12-14
6	一种压力传感器的安装支架	发明专利	CN201810813905.9	CN108896240B	2018-11-27
7	一种压力传感器的安装支架	发明专利	CN201810813905.9	CN108896240A	2018-11-27
8	一种硅片分片装置	发明专利	CN201810807277.3	CN108878337B	2018-11-23
9	一种硅片分片装置	发明专利	CN201810807277.3	CN108878337A	2018-11-23
10	一种压力传感器的自动化标定与测试设备	实用新型	CN201721394063.5	CN207318002U	2018-05-04

软件著作权4

序号	软件名称	软件简称	版本号	登记号	分类号	首次发表日期	登记批准日期
1	德尔森自动膜面成型软件	-	V1.0	2018SR338943	-	2018-02-11	2018-05-15
2	德尔森自动马鞍焊接软件	-	V1.0	2018SR338935	-	2018-02-18	2018-05-15
3	德尔森自动膜片老化软件	-	V1.0	2018SR333771	-	2018-02-28	2018-05-14
4	德尔森全自动标定温补检测软件	-	V1.0	2018SR332645	-	2018-02-22	2018-05-14

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