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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	微纳结构阵列散热片的制造方法	发明专利	CN201310656925.7	CN103668367B	2016-07-20
2	制造微纳尺寸同轴管的方法	发明专利	CN201310224867.0	CN103305884B	2015-10-28
3	制造高密度大型微纳结构阵列的方法	发明专利	CN201310224893.3	CN103320825B	2015-07-08
4	微纳结构阵列散热片的制造方法	发明专利	CN201310656925.7	CN103668367A	2014-03-26
5	制造高密度大型微纳结构阵列的方法	发明专利	CN201310224893.3	CN103320825A	2013-09-25
6	制造微纳尺寸同轴管的方法	发明专利	CN201310224867.0	CN103305884A	2013-09-18

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