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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种用于晶圆外延处理的自动化设备及其操作方法	发明专利	CN201910769316.X	CN110670128B	2021-04-30
2	一种可稳定硅源浓度的气动阀门组件	实用新型	CN201922183477.9	CN211502324U	2020-09-15
3	一种可稳定硅源浓度的自动控制系统及其控制方法	发明专利	CN201911248924.2	CN111101111A	2020-05-05
4	一种用于晶圆外延处理的自动化设备及其操作方法	发明专利	CN201910769316.X	CN110670128A	2020-01-10
5	一种在高COP硅单晶衬底上制备200mm-300mm低缺陷外延片的方法	发明专利	CN201610041286.7	CN105543951B	2019-01-01
6	一种在高COP硅单晶衬底上制备200mm-300mm低缺陷外延片的方法	发明专利	CN201610041286.7	CN105543951A	2016-05-04

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